智能传感器集传感器、通信单元、微处理器和软件算法于一体,不仅是制造设备、装备和系统感知外界环境信息的主要数据来源,也是智能制造、机器人、工业互联网发展的重要支撑,以及车联网、无人驾驶和智慧城市的核心环节。在工业控制、消费电子、物联网、汽车电子和医疗电子方面有着广泛的应用。
智能传感器基本结构如下图所示,一般包含传感单元、计算单元和接口单元。信号采集由传感器单元负责,根据设定对输入信号进行处理是计算单元的主要功能,接口单元负责通过网络与其他装置进行通信。
智能传感器技术发展的趋势是小型化、网络化、数字化、低功耗、高灵敏度和低成本。传感材料、MEMS芯片、驱动和应用软件是智能传感器的核心技术。其中,MEMS 芯片是智能传感器的重要载体,具有体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、可与微处理器集成等优点。
按可检测的自然现象,智能传感器可分为生物、化学、电、电磁、热量/温度、磁性、机械运动(位移、速度、加速度等)、放射性元素等类型。按常见测量指标,可分为声学(波、频谱等)、生化(流量质量)、电学(电荷、电压、电流、电场、电导率、介电常数)、磁学(磁场、通量、磁导率)、光学(折射率,反射率,吸收)、热学(温度,通量,比热,导热系数)、力学(位置,速度,加速度,力,应变,应力,压力、扭矩)等类型。
常见MEMS传感器种类及其应用
根据顾问对全球30多家工业智能传感器企业的统计分析,排在前十的传感器类型分别是压力、液位、温度、光电、编码器、接近、超声波、流量、视觉/图像、振动。从企业分布来看,美国企业的产品类型主要集中在编码器、振动、温度、超声波传感器;日韩企业主要集中在视觉/图像、编码器和接近传感器;欧洲企业主要集中在流量、接近、超声波传感器;中国企业则主要集中在压力、温度、加速度传感器。
MEMS压力传感器及应用
相比传统压力传感器,MEMS 压力传感器具备体积小、重量轻、功耗低、响应时间短、可批量化生产、成本低、易于集成等众多优点,已经广泛应用于汽车、消费电子、航空航天、医疗保健和工业控制等领域。根据作用原理的不同,MEMS 压力传感器可分为压阻式、电容式、谐振式和压电式压力传感器等,其中压阻式传感器因其成本低、成熟度高等特点成为当前主流的MEMS 传感器类型。
汽车电子是MEMS 压力传感器的主要应用领域,也是应用占比***大的市场,常见于轮胎压力、燃油压力、气囊压力、空调压力、管道压力等汽车电子系统中。其中,汽车胎压监测系统(TPMS)对汽车用MEMS 压力传感器需求量庞大。
TPMS 是一种利用无线传感器采集汽车轮胎压力、温度等数据,通过射频信号传输至汽车驾驶室,以数字形式显示相关数据的汽车主动安全系统,可在轮胎出现压力、温度异常等情况时为驾驶者提供预警讯息。TPMS由4个发射器和1个控制器组成,其中发射器由MEMS
压力和温度传感器、ASIC 芯片或MCU、射频发射天线和电池组成;控制器由MCU、射频
接收天线和显示器组成。因此,一台汽车对应需要至少4 个用于汽车胎压监测的MEMS 压力传感器,是汽车电子系统中使用量***大的领域。