1、压电式
压电式加速度传感器也称为压电加速度计。它也是惯性传感器。压电加速度计的原理是使用压电陶瓷或石英晶体的压电效应。当加速度计振动时,质量施加到压电元件的力也会改变。当测得的振动频率远低于加速度计的固有频率时,力的变化与测得的加速度成正比。
2、压阻式
基于MEMS硅微机械加工技术,压阻式加速度计体积小,功耗低,易于集成在各种模拟和数字电路中,并广泛应用于汽车碰撞实验,测试仪器,设备振动监测等领域。
3、电容式
电容式加速度传感器是一种基于电容原理的电容传感器。电容式加速度计/电容式加速度计是相对常见的加速度计。在某些领域没有其他选择,例如安全气囊,移动设备等。 电容式加速度计/电容式加速度计采用微机电系统(MEMS)工艺,批量生产经济实惠,从而确保降低成本。
4、伺服型
伺服型加速度传感器是具有动态性能,大动态范围和良好线性度的闭环测试系统。
工作原理,传感器的振动系统由系统组成。传感器检测到它并在被伺服放大器放大后将其转换成电流输出。电流流过电磁线圈,在永磁体的磁场中产生电磁恢复力,以便将质量保持在仪器外壳的原始平衡位置,因此伺服